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分子幫浦(Turbo Vacuum Pump- STP SERIES)
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- 分子幫浦用於高真空,其真空能力可達10-9 mbar.
- 應用: 質譜儀/ 氣體分析/ 映像管生產/
半導體製程/ 電漿應用製程/ 鍍膜製程/
各種學術研究
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STP
301(C) |
STP
451(C) |
STPH
301C |
STPH
451C |
STP
603(C) |
STP
1003(C) |
STPA
803 |
STPA
1303C |
STPA
2203C |
Inlet |
ISO100 |
160 |
100K |
160K |
160F |
250F |
160F |
200F |
250F |
Outlet |
Nw25/40 |
25/40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
Pumping
N2(L/s) |
300 |
440 |
300 |
450 |
650 |
1000 |
800 |
1300 |
2200 |
Ult. Pres. |
10-9mbar |
10-9 |
10-9 |
10-9 |
10-9 |
10-9 |
10-9 |
10-9 |
10-9 |
Weight |
11 Kg |
12 |
15 |
15 |
31 |
31 |
39 |
39 |
61 |
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