016

030

070

Power

2.2Kw（3φ）

3.7Kw（3φ）

11Kw（3φ）

Pumping

1600L/min

3000L/min

7000L/min

Ultimate Pressure

5×10^-2Torr

5×10^-2Torr

5×10^-2Torr

Cooling Water Flow

Air-Cooled

3 L/min

5 L/min

Inlet size

NW40

NW40

NW40

Weight

225Kg

280Kg

900Kg

Oil Capacity

6.5 L

8.0 L

20 L

Dimensions

860×600×550

680×720×900

950×960×1145mm