油式真空幫浦資料表

Edwards Vacuum Pump

型號

RV3

RV5

RV8

RV12

排氣量(L/min)

75

120

195

290

電源

300W

300W

550W

550W

轉速(rpm)

1740

1740

1740

1740

注油量(L)

0.7

0.7

0.75

1.0

進口尺寸

NW25

NW25

NW25

NW25

最終壓力(Torr)

1×10-3

1×10-3

1×10-3

1×10-3

重量(kg)

22

22

26

26.3

外型尺寸(mm)

430×158×267

430×158×267

470×158×261

490×158×261

型號

E2M18

E2M28

E2M40

E2M80

排氣量(L/min)

400

660

800

1600

電源

0.75Kw

0.9Kw

1.5Kw

3.0Kw

轉速(rpm)

1740

1740

1740

1740

注油量(L)

1.3

1.5

4.6

6.5

進口尺寸

NW25

NW25

NW40

NW40

最終壓力(Torr)

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

重量(kg)

36

40

72

105

外型尺寸(mm)

560×170×227

590×180×227

665×240×400

800×266×430